更新時(shí)間：2022-11-16
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列，采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書(shū)。Alicat的21V系列數字式質(zhì)量流量控制器是專(zhuān)為需要緊密關(guān)閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。
免費咨詢(xún)：86-021-59966206
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列
應用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過(guò)程工藝氣體測量
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列
產(chǎn)品特色
數字化產(chǎn)品
帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應時(shí)間快 僅需100ms(可調)
內置98種氣體
現場(chǎng)標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi) 內置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶(hù)可現場(chǎng)選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200：1
最大顯示流量 102.4%FS
顯示屏 帶按鍵，標準為L(cháng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿(mǎn)量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門(mén)泄漏率 不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)
重復性 ± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
響應時(shí)間 100ms（可調）預熱時(shí)間：<1s
標定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現場(chǎng)可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ℃
工作濕度：0-100%，無(wú)冷凝
標準最大工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì) 316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍
鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE
安裝方式 對位置無(wú)要求 防護等級：IP40
* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類(lèi)氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類(lèi)氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類(lèi)氣體。
發(fā)郵件給我們：501630350@qq.com
咨詢(xún)電話(huà)