更新時(shí)間:2022-11-16
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準證書(shū)。21W系列具有超低壓損,滿(mǎn)量程壓損可達480 Pa。21W系列可用于快速精確地測量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場(chǎng)合,尤其是要求低壓損的應用場(chǎng)合。
免費咨詢(xún):86-021-59966206
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列
應用及案例
● 低溫容器檢測
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測
● 環(huán)境監測
● 汽車(chē)制造
● 過(guò)程工藝氣體測量
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器21W系列
產(chǎn)品特色
● 數字化產(chǎn)品
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數可控:質(zhì)量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度:可優(yōu)于0.5 %讀數
● 量程可控比寬,0.5~100 %滿(mǎn)量程
● 滿(mǎn)量程超低壓損最di為480 Pa
● 閥門(mén)響應時(shí)間快,優(yōu)于100 ms
● 內置98種氣體
● 可現場(chǎng)標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM,
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指標升級:
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)
重復性 ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿(mǎn)量程)
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿(mǎn)量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿(mǎn)量程 / Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃溫差
± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi) 內置了98種氣體,請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體,用戶(hù)可現場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比 0.5~100%滿(mǎn)量程
最大顯示流量 128 %滿(mǎn)量程
最大可控流量 102.4 % 滿(mǎn)量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開(kāi)關(guān),標準為L(cháng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±(0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿(mǎn)量程) 精度升級部分見(jiàn)左下角
±(0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿(mǎn)量程)(可選)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數誤差
重 復 性 ±(0.2 %讀數+0.02 %滿(mǎn)量程)
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移 0.03%滿(mǎn)量程/ ℃(從25℃開(kāi)始)
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移 ±(0.08 % 讀數+ 0.02 % 滿(mǎn)量程)/ Atm
(從校準壓力開(kāi)始)
控制響應時(shí)間(T63,用戶(hù)可調) 小閥門(mén):30 ms;R閥門(mén):150 ms
顯示響應時(shí)間 127 ms(用戶(hù)可調)
預熱時(shí)間 < 1 s
默認標況(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它標況可調)
閥門(mén)功能 常閉型
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95 %,無(wú)冷凝
最大工作壓力 0.3 MPa表壓,進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa
最di操作壓力 如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ± 0.75 %讀數(>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)
滿(mǎn)量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率;模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT
EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU(RS232 / RS485)
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿(mǎn)量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC
供電電流 250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢(xún)),額外加 40 mA(4-20 mA)
電氣接口 DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、
玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金
R閥門(mén)430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過(guò)程連接 詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門(mén)無(wú)要求,R閥門(mén)需閥體垂直向上安裝
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)