更新時(shí)間：2022-10-30
臭氧傳輸系統ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合wan全，操作簡(jiǎn)單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯(lián)動(dòng)，插入即可使用。該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶(hù)提供的設定值伺服控制臭氧輸送
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臭氧傳輸系統ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合wan全，操作簡(jiǎn)單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯(lián)動(dòng)，插入即可使用。該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶(hù)提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線(xiàn)都有雙重保險。
臭氧傳輸系統規格
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