更新時(shí)間:2021-08-09
上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司生產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的作用。典型應用場(chǎng)合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
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上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司生產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的作用。典型應用場(chǎng)合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
自帶顯示,可獨立運行
質(zhì)量流量控制器執行JJG1132-2017國家標準進(jìn)口電磁比例閥,使用壽命更長(cháng)
采用RS-485通信接口,可遠程組網(wǎng)使用可通過(guò)RS-485對MFC進(jìn)行校準標定緊湊型外觀(guān)設計,節約更多空間
內置高精度MEMS傳感器,測量控制更精準
所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標定,確保產(chǎn)品的精度任意角度安裝均不影響氣體流量專(zhuān)業(yè)團隊,提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)
氣體質(zhì)量流量控制器最大量程 50sccm-5slpm(可定制)
精度 +1%F.S.
氣體類(lèi)型 H/He/N/Air/Ar(可定制)
響應時(shí)間 1s
壓差范圍 <1MPa
工作溫度 0~50℃
工作濕度 0~95%R.H.(非冷凝)
工作電壓 DC24V+10%/DC12V+10%
信號接口 RS-485(Modbus)
氣路材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層
氣路接口 1/16 或 1/8或 1/4
尺寸 60x26x80mm