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密析爾VCR連接露點(diǎn)儀

更新時(shí)間:2021-07-18

簡(jiǎn)要描述:

密析爾VCR連接露點(diǎn)儀密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價(jià)位變送器。Pura高純氣體露點(diǎn)變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專(zhuān)門(mén)用來(lái)測量超高純氣體中的微量水分含量。

型號:Pura點(diǎn)擊量:984

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密析爾VCR連接露點(diǎn)儀密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀

在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過(guò)程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來(lái),對濕氣的持續追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來(lái)在線(xiàn)測量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價(jià)位變送器。

Pura高純氣體露點(diǎn)變送器密析爾VCR連接露點(diǎn)儀這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專(zhuān)門(mén)用來(lái)測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡(jiǎn)單,可選兩線(xiàn)制、三線(xiàn)制和危險區域的型號,是一款*可自定義的產(chǎn)品,可以滿(mǎn)足各種特殊需求。

密析爾VCR連接露點(diǎn)儀亮點(diǎn)

  • 測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)

  • 測量穩定,重復性好

  • 高度集成的采樣裝置

  • 模擬和數字輸出

  • 安裝簡(jiǎn)便

  • VCR 過(guò)程接口

  • 設計緊湊小巧

  • 顯示/報警單元可選

高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應用中,如半導體行業(yè),氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據以往的經(jīng)驗,微量水分測量一直是一個(gè)難題,這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量?,F在,密析爾推出了一款簡(jiǎn)單、經(jīng)濟的產(chǎn)品,可以在線(xiàn)測量露點(diǎn)達-120°C (小于1ppb)。
Pura露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準的經(jīng)驗和專(zhuān)長(cháng)。工業(yè)標準材料和制造工藝結合的低成本變送器,適用于大規模集成半導體制造廠(chǎng)或高純氣體管線(xiàn)中。

使用簡(jiǎn)單
這種獨立的變送器設計成可無(wú)縫接入純氣的過(guò)程應用中,并可提供可靠的測量結果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內部采用0.25Ra μm,以達到小的吸濕性,潔凈度達到清潔室標準。
該變送器交付完整的校準和操作,并提供4-20mA的校準輸出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統。
該產(chǎn)品的設計具有小的內部結構。這確保了過(guò)程應用中
kuai的響應速度,也保證了濕度測量時(shí)的kuai響應速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內工作,同時(shí)整個(gè)系統可承受的da壓力為240 Barg (3480 psi)。

安裝和操作簡(jiǎn)便
Pura安裝簡(jiǎn)單。?"外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm,符合標準。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。Pura是一個(gè)兩線(xiàn)或三線(xiàn)制的變送器,提供da
的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。

可選的顯示
假如應用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值,Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接,也可以作為Pura的電源。

服務(wù)與校準
密析爾為想要少停機時(shí)間和設備可追溯性的用戶(hù)提供以下兩種服務(wù):
傳感器替換 –用戶(hù)可以簽訂一個(gè)有保障的合同,可以更換傳感器。當傳感器出現問(wèn)題時(shí),可以把更換下來(lái)的傳感器返回密析爾檢測,從而實(shí)現零停機時(shí)間。

校準 – 用戶(hù)將傳感器返回密析爾,密析爾會(huì )對返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準。這樣為過(guò)程中的傳感器就可以實(shí)現可追溯性。

陶瓷阻抗傳感器密析爾VCR連接露點(diǎn)儀Pura采用阻抗技術(shù),是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導體化的陶瓷基底上,均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數量,即對應于導電層之間的阻抗值。露點(diǎn)值和水氣分壓有一一對應關(guān)系。經(jīng)過(guò)校驗,阻抗值和露點(diǎn)值的對應關(guān)系建立起來(lái),被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底,給予傳感器*的結構強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩定性。 

技術(shù)指標

傳感器傳感器類(lèi)型密析爾陶瓷濕度傳感器量程-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗到 -100 ~ -40°C)精度±1°C   -40 ~ -60°C;±2°C   -61 ~ -100°C;±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;1°C           -80 ~ -100°C;1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa氣體流量1 ~ 5 Nl/min電氣電源通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA輸出4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)輸出出錯狀態(tài)標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限機械性能傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(cháng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預留管路空隙底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mmPura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 ?" VCR 端口中尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mmPura Sensor 型: 132 x 35mm重量Premium 或 OEM 型: 450gPura Sensor 型: 180g包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝所有選配件: 獨立包裝運輸Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作


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